其中，C为电容，L为电极等效串联电感，R为电极和介质交流漏电阻的等效串联值，这样，一个射频电容的
本实验使用特性阻抗Zc为50的共面波导作为测试夹具，将待测电容横跨接在共面波导的内外金属条带之间，其横截面图如图3所示。并接在共面波导上的被测电容构成的双端口网络如图4所示。
网络分析仪测量并结合一定的校准方法（TRL）可算出电容的散射参数S21o由微波网络理论可知：
取Z的虚部（电抗）X，运用实验数据处理中的最小二乘法并由（1）式知，X的拟合模型为？L-1/？C。通过一系列频点？i的测试计算数据Xi（i=1，2，。，n），寻找最优的参数L和C使得：
现对5个标称值已知的片式电容在300M～3000MHz的频率范围内测量，所得数据与生产厂家给出的电容标称值进行比较，如表1所示。
采用扫频法测量阻抗值并用最小二乘法拟合计算，不仅可以得出电容值，还可以得出等效串联电感和电阻（由于生产厂家没有给出相应的标称值进行比较，这里不再列出）。应注意扫频带宽不宜过大，否则会因电容器内电介质的色散而使电容值有一定的变化，通常可在3G的频宽内测量。
